Supercritical co₂cleaning teknoloji

Apre pwosesis la manifakti chip antre nan epòk la nano, yon pwoblèm w pèdi kontradiktwa sifas: ki jan yo retire konplètman rezidi a nan twou gwo twou san fon ak tranche san yo pa domaje nanostructure a frajil? Pandan ke tradisyonèl netwayaj akeuz ak plasma ka domaje segondè leve-a-aspè estrikti rapò akòz tansyon an sifas nan likid la, supercritical kabòn gaz (ScO₂) teknoloji netwayaj, ak pwopriyete inik li yo fizik, se reekri règleman yo nan netwayaj semi-conducteurs.

 

Supercritical co₂: Lè fwontyè a ant gaz ak likid disparèt

Lè gaz kabonik se pi wo a pwen an kritik (tanperati 31.1 degre, presyon 7.38 MPa), li antre nan yon eta supercritical ki pa ni yon gaz ni yon likid. Nan pwen sa a, li montre karakteristik deranje:

Zewo tansyon sifas: ka rantre nanopores ak yon rapò aspè ki gen plis pase 100: 1;

Difizyon gaz: 10 fwa pi vit pase Solvang likid, penetrasyon 1 micron estrikti gwo twou san fon nan 3 segonn;

Solubility likid-klas: Li ka pote yon ajan netwayaj espesyal yo fonn résidus metal ak kontaminan òganik.Nan eta sa a, CO₂ aji kòm yon "cleaner envizib" epi yo ka pwofondman netwaye san yo pa manyen sifas la nan aparèy la.

0290-35673-03 DXZ Teos Chamber Assy ak RPS

Poukisa Supercritical Co₂ Netwayaj?

Netwayaj pouvwa ki pouse limit yo nan fizik

DRAM CAPACITOR Netwayaj: modèn DRAM itilize yon condensateur silendrik ak yon rapò aspè 60: 1 (20 nm dyamèt ak 1.2 μm pwofondè), ki se 100% ki kouvri pa Sco₂ akòz tansyon an sifas nan konvansyonèl likid netwaye mouye (Samsung aplike teknoloji sa a nan 1 nm pwosesis la);

3d NAND Netwayaj: 232- Kouch NAND memwa twou pwofondè jiska 8 μm ak dyamèt sèlman 40 nm (200: 1 rapò aspè).

Pwosesis dou ak zewo domaj

Pa gen bonbadman plasma wo-frekans, evite domaj atomik-nivo nan najwar Finfet;

Pa gen rezidi imidite elimine risk pou yo galvanik korozyon nan kwiv konekte (10 nm lajè liy).

Pwoteksyon anviwònman ak avantaj pri yo

CO₂ se resikle, diminye pri a nan consommables pou chak pwosesis pa jiska 70% konpare ak izopwopilik alkòl (IPA) netwayaj;

Pa gen egzeyat dechè ki gen danje ladan, 95% mwens dlo ize chimik pase netwayaj tradisyonèl yo.