Sistèm gaz nan ekipman Etch

Etap la grave mande pou itilize yon varyete de gaz grave, ki fè yo konnen tou kòm medya pwosesis nan pwosesis reyaksyon an. Sistèm gaz la nan ekipman grave a responsab pou transpò a nan mwayen pwosesis la soti nan sous gaz la nan andedan chanm reyaksyon an, ki se sitou ki konpoze de yon bwat gaz (Gasbox), yon plak homogenizing (Gaspanel), yon mèt koule. (MFC), ak yon tiyo.

Fonksyon bwat gaz la se ajiste presyon mwayen pwosesis gaz la soti nan sous gaz la (espesyal silenn gaz oswa tiyo gaz la nan fab wafer la) atravè yon varyete tiyo kontwòl, ak Lè sa a, prezante li nan tiyo chemen gaz la nan. ekipman grave a. Paske pi fò nan gaz yo itilize nan envantè de sikui entegre yo danjere, yo nan lòd yo asire sekirite, kabinè a nan bwat la sikwi gaz anjeneral kouvwi ak anti-korozyon, ak yon fenèt obsèvasyon ekstèn mete kanpe, ak andedan an tou. nan yon eta presyon negatif. Anplis de sa, bwat gaz la ekipe ak yon varyete de sistèm siveyans, ki imedyatman koupe livrezon gaz la ak alam yon fwa yo detekte yon flit gaz. Gaspanel la se youn nan eleman debaz yo nan sistèm gaz la, epi li se tou yon pati metal semi-conducteurs ki difisil pou trete. Se disk la omojèn anjeneral ki konpoze de kat kouch nan disk metal, chak nan yo ki gen anpil ti twou ak chemen konplèks ak ti lè. Apre gaz la grave ajiste pa bwat chemen gaz la, li antre nan tiyo a, ak Lè sa a, pase nan plato a homogenizing, epi finalman transpòte nan chanm reyaksyon an nan yon vitès ki estab ak inifòm. Disk omojenize a bezwen gen karakteristik rezistans tanperati ki wo, polisyon patikil ki ba ak rezistans korozyon, ak metòd espesyal yo dwe itilize pou soude ant disk metal milti-kouch pou anpeche flit entèn yo. Paske disk la omojèn gen rapò ak etap nan konsomasyon lè nwayo nan grave, kèk konpayi ekipman chwazi kolabore ak antrepriz pwosesis metal presizyon yo devlope ak pwodwi disk omojèn; Anplis de sa, tiyo Fujikin nan Japon yo tou enpòtan manifaktirè disk inifòm.

Ekipman grave itilize yon mèt koule mas (MFC) pou kontwole ak kontwole pousantaj gaz grave antre nan chanm reyaksyon an. Paske pousantaj konsomasyon lè a ki gen rapò ak estabilite nan reyaksyon an grave, ekipman an grave gen gwo kondisyon pou seri a koule, presizyon kontwòl, ak tan repons estabilite koule nan mèt koule mas la. Debimèt yo ka divize an kalite sikwi analòg, kalite sikwi dijital ak kalite konpansasyon chanjman presyon. Debitmètre konpansasyon chanjman presyon an ka otomatikman konpanse pou fluctuation nan presyon sous gaz la pou asire koule ki estab nan pwodiksyon gaz nan chanm reyaksyon an. Manifakti prensipal la nan mèt koule mas se Horiba nan Japon.